图片来源：nature杂志

据介绍，为了实现高分辨率和微小尺寸的Micro LED，研究人员采用了基于二维材料的层转移（2D materials based layer transfer (2DLT)）技术。

该技术允许通过远程外延（remote epitaxy）或范德华（van der Waals epitaxy）外延生长、机械释放和堆叠LED等制作工序，在二维材料涂层衬底上生长近亚微米厚度的RGB LED。

研究人员特别指出，仅有9μm的堆叠结构高度是打造高阵列密度Micro LED的关键。

研究团队还在论文中展示了蓝光Micro LED与硅膜晶体管的垂直集成，适配于AM主动矩阵式驱动应用。研究团队表示，本次研究为制造AR/VR用全彩Micro LED显示器提供了新路线，同时也为更广泛的三维集成设备提供了通用平台。（LEDinside Irving编译）

论文链接：https://www.nature.com/articles/s41586-022-05612-1