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生产型GaNMOCVD设备控制系统软件设计

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  • 更新日期:2014-07-15 11:34
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对“用于GaN的生产型MOCVD”设备控制系统的软/硬件结构、关键技术进行了描述,介绍了国外几种生产型GaNMOCVD设备控制系统的特点;分析了MOCVD设备控制技术的发展趋势。
 
 
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