深紫外LED可以取代现有的杀菌用汞灯，还能实现便携式杀菌消毒系统，甚至还能创造医疗诊断及医疗分析等新市场。日前，日本信息通信研究机构(NICT)新开发出波长265nm的深紫外LED，实现了输出功率高达90mW/cm2的连续发光，这一功率足以满足实用化需求。

波长265nm附近的电磁波被称作深紫外线，能有效破坏生物体的DNA和RNA，因此能有效杀死细菌和病毒等。以这个波长发光的LED叫做深紫外LED。如果深紫外LED达到实用化水平，就可以取代现有的杀菌用汞灯，而且其尺寸比汞灯小得多，还能创造新市场，因此业内一直都在推进相关开发，但面临的主要课题是输出功率不高。

光提取效率达到原来3倍

此次，NICT将原来采用的蓝宝石基板换成氮化铝(AlN)基板，开发出了深紫外LED。AlN基板的特点是晶体缺陷比蓝宝石基板大幅减少。

但是，以前AlN基板存在折射率大、光提取效率非常低的问题。NICT在作为光提取面的AlN基板表面形成了由尺寸与波长基本相同的结构——二维光子晶体结构，以及尺寸比波长小的纳米结构组合而成的图案。光提取效率达到未做这种表面加工时的196%(约为原来的3倍)。

外部量子效率为6.3%(电流为200mA时)，据NICT介绍，这在270nm以下波长中属于全球最高值。