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密歇根大学优化绿色硅基MicroLED工艺,性能和稳定性得到提升

字体变大  字体变小 发布日期:2022-11-15  浏览次数:1458
核心提示:近期,密歇根大学宣布在MicroLED制造工艺上取得突破,这项新的工艺意味着你可以在硅上加入尺寸不到1微米的绿色LED,号称可实现高

近期,密歇根大学宣布在MicroLED制造工艺上取得突破,这项新的工艺意味着你可以在硅上加入尺寸不到1微米的绿色LED,号称可实现高性能和高稳定性。据悉,这项研究的目的是提升超高分辨率彩色微显示器的制造工艺,以开发出适合AR/VR眼镜的MicroLED技术。

据青亭网了解,AR/VR眼镜使用的MicroLED需要非常小巧、低功耗,且具有稳定性和高效性。另外,MicroLED单个像素尺寸小于1微米,制造工艺相当复杂,生产过程的缺陷率超过50%,而这将导致额外成本。而为了改善上述问题,科技行业已经投入了大量资金。

目前已经可以制造出高效、大面积的蓝色和红色LED,但制造出高效、大面积的绿色LED非常困难,将LED组件尺寸缩减到1微米也具有挑战性。而为了解决这一问题,密歇根大学教授Zetian Mi和他的团队开发了一种亚微米级的III-氮化物绿色MicroLED,其特点是使用了直径仅100到200纳米,间距仅几纳米的纳米线阵列。

科研人员表示:由于氮化物材料和硅衬底之间晶格参数不匹配,会引起丝状位错,纳米线阵列的功能则是过滤这种丝状位错,在硅上可以制造稳定的绿色MicroLED。此外,这种绿色LED制造工艺很容易转化为蓝色,无需转移就可以将蓝色MicroLED集成在硅片上。

 
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