主要性能参数
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晶系
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六方晶系
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晶胞常数
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a=4.748Å c=12.97Å
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密度
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3.98(g/cm3)
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熔点
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2040℃
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莫氏硬度
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9
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热膨胀系数
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7.5 (x10-6/ oC)
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热导率(卡/度 厘米 秒)
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⊥c
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//c
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23℃
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0.055
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26℃ 0.060
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77℃
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0.040
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70℃ 0.041
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介电常数
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~ 9.4 @300K at A axis ~ 11.58@ 300K at C axis
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晶向
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A-plane
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<11-20>
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2.379A
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R-plane
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<1-102>
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1.740A
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M-plane
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<10-10>
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1.375A
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C-plane
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<0001>
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2.165A
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晶向公差
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±0.5°
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常规尺寸
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¢12.7*2/¢25.4*3/¢38.1*3
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抛光
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单面或双面
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技术要求
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公差范围
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尺寸范围
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1-400mm
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尺寸公差
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+0/-0.05mm
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角度公差
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±2”-±5’´
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表面质量
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40/20
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表面精度
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λ/10 per @633nm
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倒边
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0.1-0.5mm
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材料
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蓝宝石
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镀膜
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8-14微米或3-5微米等波段
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